工作温度超过100°C的过程中标准石英晶振片会产生非常多的噪声，阻碍了精确而稳定的薄膜厚度测量。为了解决这个问题，我们公司用先进技术制造了SuperQuartz(SQ)™超级石英晶振片，SQ晶振片可高效地工作在500°C以上的温度，完美地应用于高热过程，如ALD, CVD, OVPD和高温PVD等。
SQ超级石英晶振片上可拥有金、铝或铂电极，SQ™石英晶振片的工作温度可达500°C或高于500°C，频率：5和6MHz，直径14mm。
应用：
● 原子层沉积 (ALD)
● 化学气相沉积 (CVD)
● 分子束外延 (MBE)
● CIGS (薄膜太阳电池)
● OLED
● 多层光学薄膜沉积