外延气体
硅烷气体 SiH4纯气以及硅烷+氮气混合气
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品牌 保定北方特气
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 钢瓶40L或者44L
SiH4纯气或者混合气
电子级别,纯度为99.9999%
外延用电子特气5 硅烷
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