产品特点：
1.通过内置吸附电极将产品固定于静电卡盘，以满足加工需要
2.通过内置加热器控制产品温度，多温区组合控温，保证加工一致性
3.使用高纯度原料实现低颗粒污染，抗等离子体侵蚀性强
4.高精度形状加工，优异的机械强度，尺寸200、300mm(可定制)
静电卡盘
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| 单价 | ￥0.00 |
| 库存 | 2000件 |
| 品牌 | 未填写 |
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1.通过内置吸附电极将产品固定于静电卡盘，以满足加工需要
2.通过内置加热器控制产品温度，多温区组合控温，保证加工一致性
3.使用高纯度原料实现低颗粒污染，抗等离子体侵蚀性强
4.高精度形状加工，优异的机械强度，尺寸200、300mm(可定制)