1. 外形尺寸： 2"  3"  4" 5"  6"  8"  12"

1.1    直径: 50~300mm

1.2    厚度: ***薄100um, 其他按国际标准

1.3  TTV: ≤3um  ≤5um  ≤10um

1.4  研磨片，单抛片，双抛片

2. 技术参数：

2.1  导电参数: N 型、P型、本征（不掺杂）

2.2  电阻率: 重掺0.001 ohm.cm    低掺1~10ohm.cn  本征高阻 >10000 ohm.cm或按客户要求加工

2.3  表面: 单抛   双抛  热氧化 氮化  镀金 镀铂

2.4     晶向: （100）（111）（110）

2.5   硅纯度: > 11N

2.6   晶向偏差:〈100〉± 0.50；〈110〉± 0.50；〈111〉± 0.50

2.7    真空无尘 : ≤30@20um