不锈钢外壳比塑料或者镀漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定和极高的可重复性

特性优点：

·         最新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

·         7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

·         Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

·         标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。

·         采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

·         机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。

·         排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

·         透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒  气味的散发。

主要性能指标：

·         主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

·         旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

·         转动速度：0-10,000rpm(可选更高速)

·         旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

·         马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%

·         转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm

·         工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

·         支持wafer尺寸1cm-200mm

·         旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

·         设备尺寸  32cm W × 44cm D × 30cm H