u 自动的微米计控制曝光间距

u 自动契型补偿系统

u 优异的全局光强均匀度

u 免维护单独气浮工作台

u 最小化的占地面积

u Windows图形化用户界面

u 完善的多用户管理（用户权限、界面语言、菜单和工艺控制）