DQ-500系列等离子去胶机的真空腔采用石英管结构，适于对基片进行去胶、清洗等工艺。该设备具有去胶工艺简单、可靠、彻底、速率快、成品率高、处理后无酸气废水等残留等特点。该设备采用国内最优射频源，其电磁兼容性能优良、高频辐射小，符合国家环保规定。本机外形美观大方，操作简便。