Reltron ICS1000PEM 光子发射显微镜系统是模块化的结构，它实现了人性化的操作和非凡的测试精度。在定位IC失效位置，正面和背侧观察方面ICS1000PEM几乎重新定义了光子发射显微检测法，它无比的简单，有效和精确，是适合我们大家使用的优秀工具。

应用 

 栅氧化层漏电

 p-n 结漏电

 热电子效应

 CMOS闩锁效应

 EOS/ESD 损伤

 饱和MOS器件

 模拟MOSFETs
 

特点 

 前部照明的1.4兆像素增强型近红外相机; 珀尔贴风冷到 -45摄氏度

 可捕捉波长范围更广的近红外光显微镜

 ICS1000 PEM 软件可运行在Windows XP Pro 或者Vista Business系统

 软件控制的5波段照明

 双通道吉时利源端和IV曲线测试软件

可选择 

    InGaAs相机; 珀尔贴风冷到 -50摄氏度.

  背部照明，深耗尽层相机; 珀尔贴风冷到-100摄氏度.

    4通道吉时利源端和IV曲线测试软件

    热点侦测

    显微镜自动对焦，不同倍率镜头切换和X-Y方向定位

    黑箱

    防震桌

    探针台

    器件温度控制器：快速升温，降温样品台

    器件高压输入（可达5KV）和IV曲线测试软件