一、公司介绍
扬州市神州科技有限公司成立于2003年，现有专业技术人员40人, 员工50人, 专业从事射频等离子体电源的维修、维护及销售，主要服务内容包括：为半导体工厂，液晶面板工厂等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等国际品牌的射频电源、直流电源、匹配器、RPS及各类半导体设备维修、销售、客户方案定制与老式机型替代，并提供现场支持服务。
公司主要客户：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。
二、产品介绍
MKS ASTRONhf++ RPS / 30L
| Operating Voltage Range | 200/208 VAC ±10% |
| Operating Frequency | 50/60 Hz |
| Current | 70 Amps RMS (per phase) |
| Voltage | 5% (THD) |
| Voltage Imbalance | 10% (per phase) |
| Source Impedance Ground | 10% |
| Leakage Current | 25 mA |
| Cooling Water | |
| Quality | Facility water |
| Filtration | 50 Micron |
| Minimum Flow Rate | During Operation: 3.5 GPM |
| During Idle: 0.5 GPM | |
| Cooling Channel Pressure Drop | 17 psi |
| Inlet Pressure | 100 psig |
| Inlet Temperature | Maximum: 30°C |
| Minimum: Ambient Dew Point or 15°C | |
| Typical Cooling Load | <10 kW (NF3) |
| Lower Limit Flow Set Point | 3.5 GPM |
| Internal Cooling Wetted Materials | Copper, Stainless Steel |
| Ambient Conditions | |
| Operating Temperature | 40°C |
| Storage Conditions | -25 to +85°C |
| Process Gases | |
| 100% NF3 | Grade 4N |
更多信息请与我们联系！
三、品质保障
我们所销售的电源、匹配器及RPS等如无特殊说明，均提供6个月的免费保修服务。
我们为销售产品提供终身维修服务，并可提供EXCHANGE服务，保证客户的生产正常进行。
四、运输
我们为所有出厂的机器提供最结实的包装，保证运输过程中机器的安全。