COVANCE-MPR 等离子表面处理系统 产品规格

真空室：190 × 240 × 160（W × D × H / mm）
气　路：标准一路气体（最多3路气体，MFC）
电　源：50kHz,200W
操作界面：全自动&手动操作（触摸屏模式）
压力监测：大气压~ 1×10-3 Torr
选配项：电源功率升级（最大300W）
射频电源（13.56MHz,最高300W，包括水冷）
粉末处理系统