| NanoMap-D 双模式三维表面轮廓仪（台阶仪） |
| 世上第一台，也是唯一同时具备探针式扫描和白光干涉扫描功能的轮廓仪。既方便分析各种材料、器件、工具等的表面形貌，又节省了宝贵的空间、费用。有些表面不适合探针测量，因为容易损伤样品；有些表面不适合干涉仪，因为相邻材料光学性质差异太大。这台设备以强有力的竞争为您提供两种选择。 |
| 3D接触式探针扫描(contact profiler) |
台阶重复率 |
5A |
| fine模式Z高度范围 |
5μm |
| coarse模式Z高度范围 |
500μm(可选1.5mm) |
| Tip Scan模式(XY) |
最大50μm |
| Stage Scan模式(XY) |
最大150mm(可选200mm等) |
| 探针压力 |
0.03-100mg |
| 样品台 |
150*150mm(可选200*200mm等) |
| 3D非接触光学扫描(optical profiler) |
台阶重复率 |
1A |
| CCD分辨率 |
1024*1024/1536*1536/1920*1920 |
| 物镜 |
2.5x/5x/10x/20x/50x/100x |
| 样品反光率 |
0.4-100% |
| 最大样品厚度 |
50mm( 可选100mm) |
| 样品台旋转 |
360度 |
| 样品台倾斜 |
4度 |
| 应力分析 |
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