NSR1505g4D光刻机
NSR1505g4D主要用于CD线宽不超过0.75μm器件的生产。
主要技术指标
|
分辨率 |
0.75μm |
Resolution |
0.75 |
|
N.A. |
0.45 |
N.A. |
0.45 |
|
曝光光源 |
436nm |
Exposure light source |
436nm |
|
倍率 |
1:5 |
Magnification |
1:5 |
|
最大曝光市场 |
15mmX15mm |
Maximum Exposure area |
15mmX15mm |
|
对准精度 |
180nm |
Alignment accuracy |
180nm |
提供3”、4”、5”、6”、设备改造。