主机参数规格
射频发生器：40KHz；0-100W 
整机功率：不超过300W (不含真空泵)
清洗舱规格：φ 130mm ; L 160mm ；不锈钢材质舱体+舱门带有观察窗
清洗舱有效容积：大约3L
气体流量计：1路浮子流量计
控制系统：半自动控制 

数字计时器：可设定处理时间 1-9999S
工艺气体接口：标准内径4mm，外径6mm软管
整机供电：220V / 8A
整机尺寸：W 650mm ; H 300mm ; D 450mm
配套附件：托盘一个，波纹管一条（连接主机与真空泵），快插转换头一个（6mm）

真空泵参数
型号：VRI-2
抽速：2m³/h