形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸最大

为 150mm (6”)的晶圆或尺寸为 127x127mm (5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足最大

直径为 176mm。

SM 系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简

单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力最小化，SAWATEC 公司开发了一

种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护

碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本最小化。因此，SAWATEC匀胶机可被

优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。

该匀胶机可提供便携桌上式和内嵌式两种方式