全自动倒片功能，兼容SMIF和FOUP。
• 兼容8寸，12寸Wafer清洗。
• 自动配液系统，实现不同浓度精确配比。
• 支持Marangoni干燥。
• 支持多任务并行处理。
• 模块化设计。
• 结构紧凑、占地面积小。
• 维护成本低。
• 满足SEMI S2、SEMI S8和CE标准。
• 针对易燃易爆化学品配置二氧化碳灭火系统。
• 洁净等级符合 ISO Class 1标准