“Certas WING”设计用于加工300mm晶圆，是Certas的第二代系统。这是一种环保，高产量的气体化学蚀刻系统，可以在不使用清洗液的情况下进行表面蚀刻和清洗。与湿式清洁相比，已经完全干燥的处理单元不使用化学品，不需要昂贵的废物处理设备，并且具有改进的可维护性。它消除了水印，并提供了各种氧化膜蚀刻的独特选择比例，细微的界面清洁控制，与TEL清洁系统一起使用时具有更高的灵活性。它支持从批量生产到下一代开发的广泛应用。

特征

独特的氧化膜选择性蚀刻和气体化学品预处理

新的腔室设计实现了高吞吐量（大约两倍）和小占用空间

无等离子处理可实现耗材的高正常运行时间和低成本

应用

氧化硅膜的蚀刻和回蚀

硅触点预清洗