² 排废液系统分为两路，一路排废液；一路废水；
² 给排水排废接头均为活性连接；排液口装有滤网（防止管道被漏掉的碎硅料堵塞）；
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电源 |
380VAC±10％，10KW,3相5线 |
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N2 |
3/8” ≤0.6MPa PFA 快速接头 ≥100L/min |
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CDA |
3/8” ≤0.6MPa PFA 快速接头 ≥180L/min |
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DIW |
φ32mm ≤0.4MPa CL-PVC ≥120L/min |
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回收水 |
DN50 x2 PP 熔接 |
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排废水 |
DN50 x2 PP 熔接 |
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排废液 |
3/4” PFAx2 |
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台面下排废液 |
3/4” PFAx2 |
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排气 |
φ300mm x2 |