机器尺寸(mm) ;   190 x 320 x 305 

温度范围

1) 发烟硫酸： 25C - 250C

2) 发烟硝酸： 25C - 90C

3) 混酸： 25C - 100C (Elite Etch)

4) 混酸(专利)：10C -100C (Elite Etch Cu)

抽酸流量   :  1-8 ml / minute 

蚀刻头组件:      固定式碳化硅(保固3年)

N2 气体支持     2.0 lpm (安全盖子+泵)气压为60-70psi

安全

1) 自动显示错误信息

2) 设置EMO紧急停止按扭

3) 漏酸侦测在设备内部和瓶子BOX里

4) 采用光纤感应盖子的密合度(不是耗材)

5) 所有管路一体化设计，双层保护套，并且酸瓶盒配有盖子

废酸瓶  :  1个 

固定样品方式: 子盖下以后，自动从上到下，直接固定样品

密封圈  :  圆型（不是耗材）