半导体加工设备
国产三坐标​
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FLY系列三坐标测量机是龙门移动式全自动三坐标测量机系列,具有功能强大、性能稳定、精度高、操作简单、维护方便等特点,尤其是其控制系统和软件功能,具有世界先进水平。相对于其他产品系列比较而言,该系列具有结构简单、承载能力强、工件放置空间开阔、装卸便捷等特点。

  1)型号规格:FLY 1086

l 测量范围:X=800mm,Y=1000mm,Z=600mm

l 示值误差E(чm)L:mm:2.9+L/250

l 探测误差:R≤2.7µm

l 分辨率:0.5µm

l 最大移动速度:430mm/s

l 最大承受重量:1000kg

l 主机重量1700kg

l 主机外型尺寸:2082mm×1605mm×2760mm

 

2)技术要点:
※ 龙门移动式结构,整体式工作台
   具有承载能力强、工件放置空间宽阔、    装卸便捷的特点;
※ 传动系统的振动隔离设计,
   机器高速运动时也能把机械振动对测量    精度的影响降到最小。
※ 三轴采用高性能同步带传动,
   可以获得很高的运动速度以提高测量效率,还可以最大限度的降低传动惯量以提高运动加速度;

※ 新式花岗岩导轨加工检验工艺,
   将花岗岩导轨的加工精度提高到一个新的等级。
※ 特殊Z轴防转气浮,
   为Z轴提供更好的防转能力,从而减小Z轴在不同    高度位置的旋转误差。
※ 专用低摩擦重力平衡气缸
  ※ 先进的非线性弹簧系统,
   采用进口配件,更加有效的降低到导轨微小误差    对机器精度的影响。
※ 全数字气源检测装置,加强对气源波动检测灵敏度,将气源对测量精度的影响降到最低。

 

3)机器配置:

序号 配置名称规格及说明数量1主机系统主机及机台支撑FLY 1086一台2控制系统Nova控制系统控制柜一个操控手柄一个3测量软件系统Visual DMIS CNC测量软件Visual DMIS CNC CAD+测量软件光盘一张(适用于Windows 操作系统)一张软件锁Visual DMIS CNC CAD+测量软件锁一个测量软件操作手册Visual DMIS CNC CAD+测量软件操作手册一本4计算机系统主机3.0GHz英特尔双核处理器,内存2 GB,硬盘500 GB, DVD-ROM光驱,NVIDIA独立显卡1G,19吋宽屏液晶显示屏(不低于此配置)一台操作系统64位Windows 7中文版操作系统一套打印机HP喷墨打印机一台桌椅计算机专用桌椅一套5测头及测针系统测头座一个标准测力模块一个测针组英国RENISHAW第3测针组件一套校准球Ф20一个万向球座 一个

 

 



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