半导体加工设备
日本三丰粗糙度仪、轮廓仪组合​
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 表面粗糙度测量功能

• 高分辨率型Z1轴检出器作为标准件提供。Z1轴的最高显示分辨力为0.0001μm(测量范围为8μm时)。

• X轴内置高精度玻璃光栅尺,直接读取X轴移动距离,在高精度精准定位下,完成间距参数的评价。

• 检出器测力有4mN和0.75mN可选。轮廓测量功能

• Z1轴(检出器)上配有高精度弧形光栅尺和新型测臂。高精度弧形光栅尺能直接读取测针的弧形轨迹,以实现高精度和高分辨力。与传统型号相比,新测臂使Z1轴测量范围增大了10mm 同时减少了工件的干扰。测臂安装部采用了磁性链接件,单此接触就能完成测臂的装卸,提高了易用性。

• 专为SV-C-4500系列增加了以下两大特性作为轮廓测量系统的专用功能。

(1) 装配双锥面测针,实现垂直方向(上/下)连续测量,所获取的数据实现简单分析以往难以测量的内螺纹有效直径。

(2) 测力可在FORMTRACEPAK软件中设置。无需调整配重。

• 卓越的表面粗糙度/轮廓FORMTRACEPAK分析程序,通过简单的操作就能进行高级分析并即刻输出结果。

• 表面粗糙度测试仪和轮廓测量仪结合在一起,节省安装空间。

温馨提示:图片及数据仅供参考、详情以实物为准、欢迎咨询!

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