1、永磁同步空气电主轴；  4.5KW    6000 rpm

含有；高精度编码器、同步变频控制器、空气压力开关、三级精密过滤器、冷却水位保护开关

2、电主轴参数

额定转速  3000 rpm 最高转速 6000 rpm  额定频率   200Hz 最高频率 400Hz

 额定电压：380V； 额定功率：4.5KW； 额定扭矩：14.3Nm ；最高扭矩：25Nm；

3、粗磨主轴工作转速  1500 rpm；     4、精磨主轴工作转速  3000 rpm

5、粗、精磨头滚珠丝杆运动行程  170mm；6、粗、精磨头滚珠丝杆精度  0.01/300mm；

7、粗、精磨头丝杆工作磨削行程  0.8-0.91mm； 8、主动控制测量仪闭环控制精度小于 0.001mm；

9、粗、精磨空气电主轴上下换向运动加装柔性阻尼气缸抵销丝杆换向冲击；

10、金刚石磨轮直径310mm；       11、晶圆片磨至厚度0.09-0.1mm；

12、工件表面平面度小于0.005；     13、磨轮调至平面度不大于0.03；

14、滚珠丝杆运动直线度、侧母线直线度不大于0.01/300mm；

15、大盘真空吸盘平台工作转速300 rpm；  16、设备尺寸范围  4340x1570X2275；

17、设备重量约5000Kg；