型号：
IoN-ILHC, GIGA 80(PLUS)
技术指标：
腔体：
铝/不锈钢
腔体结构：
单腔体，三腔体结构
等离子体发生器：
射频RF13.56MHz：0-600W，0-1000W；
微波MW2.45GHz：0-1000W
工艺气体：
标配2路，可扩展多支持6路工艺气体，可选单体管路。
基片夹具：
定制化
选配：
高精度真空规
压力控制
灯柱
扫码枪
液体循环冷却机
单体工艺工具及气体加热管线
额外气体、单体进气阀
安全认证标准
CE certified
2006/95/EC, Low Voltage Directive
Standard IEC EN 61010
2004/108/EC Electromagnetic Compatibility
Standard IEC EN 61326
CISPR 55011