IC芯片/LED照明行业
● 晶元表面残留光刻胶的清洗
● 芯片封装前的表面清洗及活化
PCB/FPC行业
● 电路板基材表面清洗
● 电路板孔壁残胶的清洗及粗化
电子装联行业
● 电路板焊盘及插孔的清洗及粗化
● 电子元器件管脚、导线、插件的清洗
非金属材料行业
● 硅胶、塑胶、陶瓷、玻璃、聚合体的表面活化、粗化、交联
性能特点：
水平式及固定式极板可互换设计
1. 冷却水路设计，精准控制腔体及极板温度
2. 合理的离子反应空间，处理更均匀
3. 采用13.56MHz等离子源，自动化精准匹配
4. 多重安全保护、功耗低