● IC芯片/LED行业
● IC封装前的表面清洗及活化，晶圆表面去除光刻胶
● PCB/FPC行业
● 电路板基材表面清洗，电路板孔壁残胶的清洗及粗化
● 电子装联行业
● 电子元器件管脚、导线、插件的清洗及粗化
● 生物医药、微流控行业
● 高分子材料、生化材料的表面活化、表面改性，玻璃、陶瓷、聚合材料移植等产品的表面涂覆活化、清洁、粗化、交联等
性能特点：
● 圆柱形石英腔体，绿色环保
● 超洁净反应空间，无副产物形成
● 专门为科研院所及实验室量身定做
● 采用40KHZ/13.56MHz等离子源，自动化精准匹配
● 操作便捷，低成本