烘烤设备
半自动压膜机-晶圆压膜机,晶圆除气泡,真空压膜机|屹立芯创
人气:202  销量:0  评价:0
单价 0.00
库存 10件
品牌 未填写
  • 商品详情
  • 评价详情(0)
  • 交易记录(0)
真空压膜通常是指在设备的真空模块内将干膜材料与基材进行贴合,完成加热压膜动作,常见的真空压膜机通常都是采用单段加压覆膜以及预贴膜的方式,但该方式对于表面具有许多细微凸凹结构的晶圆(如高深宽比TSV孔洞、高密度CuPillarBump等)无法满足其高深宽比结构的干膜填覆的晶圆级封装需求;另外,先裁膜预贴合再热压的工艺,往往会导致无法完全排除的气泡空洞现象。

 

ELEAD TECH(屹立芯创)的全自动/半自动/手动型晶圆级真空贴压膜系统,区别于传统使用滚轮压式的贴膜机,采用真空贴膜+压膜后切膜的技术。干膜先预铺设(不与基材接触),腔体抽真空后进行贴压膜,配合以震荡式软性气囊的多段热压作用,尤其适合晶圆表面具有凹凸起伏结构图案的贴压膜制程。如:FlipChip制程的NCF压膜、Fan-out制程的Moldsheet压膜以及3D-IC制程所需的TSV填孔等。可实现近乎完美无气泡且高深宽比(1:20)填充的贴压膜;可兼容匹配8”及12”晶圆封装工艺。内部搭配自动切割系统,压膜后设备切割系统进行裁膜,匹配多种干膜材料,还可扩充压膜腔体进行二次表面整平压合,无须另外加装整平系统,节省成本。另外,手动型号还可铺设离型膜,可避免压膜中所造成的残胶影响。

联系方式
公司:南京屹立芯创半导体科技有限公司
状态:离线 发送信件 在线交谈
姓名:乔峰(先生)
职位:经理
电话:13327802009
手机:13327802009
地区:中国-江苏省
地址:南京市江北新区星火北路11号1楼
邮件:info@elead-tech.com
QQ:2452604365
微信:elead-tech
阿里旺旺:eleadtech