性能参数：

· Z向行程：3mm

· Rx/Ry行程：±12.5mrad

· Z向重复定位精度：14.9nm

· Rx重复定位精度：12.2μrad

· Ry重复定位精度：15.1μrad

· 负载:1kg

· 整定时间:≤100ms

平台特点：

· 机械设计紧凑：在紧凑空间中实现三自由度 (Z, Rx, Ry) 运动

· 动态性能优秀：快速定位与对准、高速扫描和轨迹跟踪、宽频域扰动抑制与防抖等

· 可内置真空气路以及真空阀供真空卡盘使用

· 中空结构设计,可作为光学式检测或导通测试等运动模组使用

应用领域：

半导体：晶圆检测与量测、硅片对准与定位、半导体封装、芯片与器件测试等

主动光学：超分辨成像、电子显微成像、大视场成像、光学对准与操作等

精密制造：激光加工、增材制造、光学加工、MEMS制造与检测等