工作原理：主要基于超声波在液体中的空化作用，这种作用产生的冲击波可以深入物体表面的微观凹陷处，实现深层清洁。同时，配合不同的化学试剂，可以有效地去除晶圆表面的化学剂残留、颗粒、金属等杂质。
适用产品尺寸：2~12英寸
适用产品：Si、SiC、氮化镓、陶瓷、氧化镓、砷化镓、LT/LN、蓝宝石、石英、磷化铟等泛半导体材料
处理能力：25~50PCS/槽
药液槽体材质：PPN;PVDF;PTFE;SUS316L;石英
DIW槽;PPN;PVDF;PVC
功能介绍：
药液槽：加热/制冷/恒温；循环；过滤；晶片旋转/抛动；超声/兆声；
水槽：喷淋、溢流、鼓泡、快排、水阻检测
自动供液：Local CDS/LCSS
控制系统：PC+PLC+TP/PLC+TP
设备特点：
批量式处理；适用多种化学液槽；高温温控精准；腐蚀/刻蚀均匀性好；客制化软件更符合使用；
应用领域：衬底材料、集成电路、功率半导体、MEMS、光学等；