主要功能：本设备主要采用机械臂搬运方式，通过对硅片腐蚀、抛动、旋转、溢流漂洗等方式进行处理，从而达到一个用户要求的腐蚀清洗效果。

l 设备名称：晶圆刻蚀机

l 设备型号：R-AWB300

l 制作数量：1台

l 整机尺寸(参考)：1500mm（L）×1500mm(W)×2400mm(H)；以最终设计尺寸为准。

安装尺寸：2000mm（L）×2000mm(W)×2600mm(H)；

l 产品尺寸：12寸

l 节拍 ：节拍可调根据实际工艺时间而定
       l 化学品：HF HNO3 CH3COOH 混合液

l 转移时间 ：酸槽到水槽转移时间少于3秒；

l 设备形式:室内放置型;

l 最大产量：根据工艺确认

l 每批最大处理量：20片；

l 节拍：具体时间由客户工艺人员依经验设定； 

l 单槽清洗量：max：12＂：10片/2盒

l 处理最大重量：25kg；

l 操作形式：全自动兼容手动