ITEM

MODULE

CONFIGURATION

SPECIFICATION

1

Tank 1

化学清洗

槽体设计

PTFE 焊接`

适用药剂

清洗剂 / DIW

药剂温度

50~60℃

药液加热方式

In-Line Heater

喷淋装置

4~6组喷嘴组

喷嘴型式

扇型/实心圆锥型,可更换

运作程序

药液喷淋-> DIW Rinse, 固定喷淋

药液使用后

可回收或直接排放, 自行设定

DIW使用后

直接排放

药液供应方式

磁浮 Pump

供应桶材质及容积

PTFE 焊接 / 20 L

DIW供应方式

厂务

2

Tank 2

刷洗

槽体设计

NPP 焊接`

适用药剂

DIW

药剂温度

RT ℃

Brush

双PVA Brush 滚筒型, 同时刷洗双面

喷淋装置

4~6组喷嘴组

喷嘴型式

扇型/实心圆锥型,可更换

运作程序

Brush + DIW Rinse 

Mask 上下运动清洗`

DIW使用后

直接排放

DIW供应方式

厂务

3

Tank 3

Rinse

槽体设计

NPP 焊接`

适用药剂

DIW

药剂温度

RT ℃

加热方式(选配)

In-Line Heater

喷淋装置

4~6组喷嘴组

喷嘴型式

扇型/实心圆锥型,可更换

运作程序

DIW Rinse, 固定喷淋

DIW使用后

直接排放

DIW供应方式

厂务

4

Tank Dry

槽体设计

NPP 焊接`

适用药剂

N2

药剂温度

RT~70 ℃ 可设定`

加热方式(选配)

In-Line Heater

喷淋装置

4~6组喷嘴组

喷嘴型式

N2 气体干燥专用喷嘴

运作程序

N2 Dry, 固定喷淋

D使用后

Exhaust直接抽风

N2供应方式

厂务