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X射线光电子能谱仪(XPS)+饿歇电子能谱仪(AES)
XPS利用光电效应的原理，测量X射线激发出的光电子能量和计数，对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析；AES利用电子激发出的俄歇电子，对表面进行微区的成分和化学态分析。
测试范围：
除H和He之外的所有元素
分析深度约5nm(AES约3nm)
检测下限约0.1%
空间分辨率约30μm(AES约10nm)
服务项目：
各种固体表面的元素成分
化学价态
分子结构分析
深度剖析
表面异物分析
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