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Plasma PSU维修

发表于:2016-10-09 作者:diyuedianzi

上海帝越电子科技有限公司主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜,半导体薄膜、离子注入、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造设备以及科研院校、技术研究所等行业。专业维修电源!

    公司配备专用维修、检测和负载测试工具,有多年的丰富维修经验,服务具体如下:

服务机台 

刻蚀(ET): LAM 9400、9600 

                 AMAT CENTURA II&I 

                 AMAT  SEMVision G2 

离子注入(DF):VARIAN 

                EATON(AXCELIS) 

                NISSIN 

                AMAT PI9500 9200 

光刻(PH):NIKON  NSR 

                   ASML 5500

太阳能光伏PECVD: centrotherm(管式镀膜)Roth&Rau(平板式镀膜 德国)

服务品牌 

AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、SEREN、DAIHEN、VEECO射频电源,HiTek power,Glassman、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、Powerone直流电源。ASTeX  Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU



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