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2英寸InP衬底
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2英寸氮化铝（AlN）薄膜衬底
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3英寸磷化铟InP衬底
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2-4英寸砷化稼GaAs衬底
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2英寸氮化稼GaN厚膜衬底
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4英寸氮化稼GaN薄膜衬底
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