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双轴晶圆切割机8020系列概要 |
ADT 8020切割机有两个对向的主轴，可同时切割晶圆，且产量高。这种高精度系统可切割直径最高8"的工件，性能高，运行成本低。
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双轴晶圆切割机8020系列特点： |
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灵活：支持最大3"外径的有轮毂和无轮毂刀片 |
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1.8kW或2.2 kW高功率主轴（适合严苛应用） |
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高级视觉系统，支持连续变焦缩放 |
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19英寸触摸屏显示器，直观操作界面 |
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双轴晶圆切割机8020系列重要特点： |
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气悬浮轴（X） |
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快速自动对齐和切割定位，提高产量 |
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自动刀痕检测和质量分析，实现高精度 |
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流程数据记录和统计分析 |
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使用锁定式主轴，更换刀片快速简单 |
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SECS/GEM平台就绪 |
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可接近系统所有区域，便于维护 |
易于使用
8020使用ADT直观的新图形用户界面（NUI）进行操作，配备了两个触摸屏：19"主屏幕和17"维护屏。维护屏协助执行系统设置过程、刀片更换和基本的维护操作。