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设备馆
G200M，G150M和G150S激光平面干涉仪
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G100D和G150D立式激光干涉仪
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G100和G150卧式激光干涉仪
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G60D倒置式激光干涉仪
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G60U正立式激光干涉仪
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G30U正立式激光干涉仪
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G30D倒置式激光干涉仪
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剪切干涉仪
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