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我公司提供各类高纯、超高纯金属靶材、难熔金属靶材、稀贵金属靶材、稀土金属靶材、半导体金属靶材及其他单一元素靶材。金属溅射靶材形状尺寸大致如下：圆片及圆台（直径<300mm，厚度>1mm）；矩形、片材及台阶片（长<600mm，宽<250mm，厚度>1mm）；管材、圆环及旋转靶材（直径<300mm，厚度>2mm），并可按客户要求订制及按图纸加工。金属靶材的应用范围包括：各大科研院校，平板显示器工业，镀膜玻璃工业，薄膜太阳能工业，表面工程（装饰及工具）及薄膜电阻工业等。

金属靶材（单一元素）

材料及符号	纯度	规格
纯铜靶（Cu）	3N,3N7,4N,5N,6N	平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶
纯铝靶(Al)	4N,4N5,5N,6N	平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶
纯铬靶（Cr）	2N5,2N8,3N,3N5	平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶
纯钛靶(Ti)	2N7,3N,4N,4N5	平面靶，圆柱靶，台阶靶，管状靶
纯锆靶(Zr)	2N5,2N8,3N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯铌靶(Nb)	3N,3N5	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯钼靶(Mo)	3N5	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯钽靶(Ta)	3N5	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯镍靶(Ni)	3N,4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯锡靶(Sn)	4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯银靶(Ag)	4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
石墨靶(C)	4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯锌靶(Zn)	4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯铟靶(In)	4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯硒靶(Se)	3N5,4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯硅靶(Si)	4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯镁(Mg)	4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯钨靶(W)	3N,3N5,4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯钒靶(V)	3N,4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯硼靶(B)	3N,4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯镉靶(Cd)	4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯铈靶(Ce)	2N5,3N,3N5	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯铕靶(Eu)	2N5,3N,4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯锗靶(Ge)	4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯金靶(Au)	3N,4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯镧靶(La)	2N5,3N,3N5	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯锰靶(Mn)	3N,4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯钕靶(Nd)	2N5,3N,3N5	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯钯靶(Pd)	4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯铂靶(Pt)	3N,4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯铼靶(Re)	3N,4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯钌靶(Ru)	3N,4N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯锑靶(Sb)	4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶
纯碲靶(Te)	4N,5N	平面靶，圆柱靶，台阶靶

金属靶材

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