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高纯氧化铝抛光液 |
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检测项目 |
产品参数 |
测试方法 |
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晶相 |
α |
XRD |
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二次粒D50（um） |
700-800 |
激光粒度仪 |
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纯度 |
99.99% |
ICP-OES |
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PH值 |
13.5 |
PH测试仪 |
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固含量 |
20% |
卤素水分仪 |
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产品优点 |
1、具有较高的移除速率。 2、晶体表面低表面粗糙度。 3、水溶性浓缩液清洗简便，不会形成玩固结晶。 4、不含硫、磷、氯等添加剂，不污染环境。 浆料悬浮性好，颗粒均匀，性质稳定 |
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应用领域 |
适用于蓝宝石、砷化镓、磷化铟、单晶硅等半导体材料及陶瓷基板等高端电子材料。
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