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    等离子清洗机、活化机、灰化机、刻蚀机

    应用于半导体行业:

    真空等离子清洗机

    产品品牌

    戈德尔guarder

    库       存:

    100

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    8888.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:戈德尔guarder

    型号:

    所属系列:真空等离子清洗机

     

    详细介绍

    >> 产品特点

     

     

     

       立式中型等离子清洗机,触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于BGA、COB、CSP、LED封装制程清洗有机物及氧化物,中批量生产机型
    >> 技术参数
     ◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯)
        650(W)×900(D)×1600(H)mm
     ◆ 仓体结构(合金铝,约100升)
        420(W)×420(D)×570(H)mm

     ◆ 放电电极

        9层铝合金放电电极,阳极氧化处理

     ◆ 等离子发生器(美国MKS)
        频率13.56MHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

     ◆ 控制系统 

        PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有  手动、自动两种模式

      真空系统
        日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)

        台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器

     

     ◆ 压力控制

        PID闭环自动稳压控制

     

      充气系统 

       美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
       美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀
       日本SMC及CKD高真空气阀组件

     

    >> 相关应用   

     

      光刻胶清洗 

      表面改性

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