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    德国等离子清洗机femto 2型

    应用于半导体行业:

    真空等离子清洗机

    产品品牌

    DIENER

    库       存:

    1

    产       地:

    中国-广东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:DIENER

    型号:

    所属系列:真空等离子清洗机

       

    *真空舱体 Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)

    *不锈钢舱体  

    * 40KHz射频发生器

    *高效针孔电极 

    *铜气体管、气体流量计、针阀
    * 使用气体流量计和针阀控制气体

    *自动计时器控制等离子处理过程 

    *半自动控制

    *功率连续可调 0-100W

    *自动阻抗匹配
    * 自由设置参数:处理时间、功率、气体

    *安全保护功能:真空触发、舱门锁

    *电磁阀保护,回流油雾不能进入舱体

    *规格:W345 mm×H220 mm× D420 mm
    * 电源:AC 220V/50Hz 

    *真空泵:莱宝Leybold Type S1.5(1.5m3/h).

     

    选装件.
    * 13.56 MHz射频发生器
    * 2.45 GHz 射频发生器
    * 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体

     

    配件选装指南:

    • · 射频发生器     · 射频发生器    · 半自动控制系统    · 全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统
    • · 计算机(PC)控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程
    • · 附加气体通路   · 自动真空舱门   · 设备自动门    · 条码阅读器   · 偏压测量系统   · 碟型阀   · 排气过滤系统   · 适用于腐蚀性气体系统   · 舱体托盘可订做 - 适合舱体的最佳尺寸   · 粉末处理装置    · 法拉第容器    · 气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体   · 玻璃舱体(硅酸盐或石英)    · 预热板     · 等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中

     · 真空泵抽气入口过滤器    · 标签打印机    · 标签阅读机   · 加深舱体    · 单体瓶 - 轻松的控制不稳定的液体含量  

    • · 网络连接系统  · 聚合处理附件    · 气瓶出气减压阀  · 石英玻璃皿  · 卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等  
    • · RIE电极(适用于刻蚀)   · 旋转舱体系统 - 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理           · 安全阀
    • · 服务条约 - 使用易燃、易爆性气体,例如:氢气、乙炔…

     · 附加的配件    · 特殊的电极和托盘      · 特殊法兰/附加法兰    · 特殊软件  · 特殊真空舱体    · 过程温度测量 

    • · 测试墨水(用于测试表面接触角)   · 真空泵系统

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