装箱清单
主要配置及技术指标：
l 电源：单相220V 50Hz，2KW
l 射频源：国产， f=13.56MHz 50～500W连续可调，全自动匹配
l 气体控制：氧气和氮气气两路，美国进口浮子流量计控制
l 真空获得方式：2L机械泵
l 真空度：优于-100KPa
l 气体流量：0～5L/min
l 真空腔：石英腔。尺寸：￠200x300mm
l 产能：每次20片（2"-4"）
l 触摸屏+PLC控制
l 控制方式：自动/手动，自动模式下可实现一键完成整个工艺过程
l 整机采用松下plc和触摸屏控制
反射自动匹配
l 最大负荷电流：10ARMS
l 最大负荷电压：200VRMS
l 传输效率：>90％
l 匹配时间：3～5s
l 可匹配阻抗实部范围：1～500Ω
l 可匹配阻抗虚部范围：－j200～＋j200
l 主电容：空气电容
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