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    溅射台SRH-420

    产品品牌

    ULVAC

    库       存:

    10

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:ULVAC

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-磁控溅射机

    极限压强:成膜室 6.7*10-5Pa
    设备构成:1个L/LU室+最多3个工艺室
    溅射方向:向下溅射
    基板尺寸:直径100-200mm
    排气系统:LL室,刻蚀室,分子泵,成膜室,低温泵
    控制系统:PC触摸式操作屏
    搬送系统:多腔体方式
    选购件:基板加热单元,基板冷却单元,刻蚀单元,多阴极单元
    所需气体:Ar、氮气、干泵用氮气,压力0.5MPa

    详情可咨询:www.yjyco.cn

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    提问:
     

    请问设备使用的靶材是平面型的还是辊型的?靶材的利用率能达到67%吗?

    dfft  2017-08-03

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