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    SC-450,SPS-TG磁控溅射镀膜机 上海载德半导体

    规格型号:

    SC-450,SPS-TG

    库       存:

    100

    产       地:

    美国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:SC-450,SPS-TG

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-磁控溅射机

           
        SC-450,SPS-TG磁控溅射镀膜机
        产地:美国、韩国;

    型号:SC-450,SPS-TG;


    磁控溅射技术是最常用的一种物理气相沉积技术。磁控溅射镀膜机可用于制备金属、半导体、绝缘体等多种薄膜材料,具有设备成熟、易于控制、镀膜面积大、附着力强等优点,因此被广泛使用。


    技术规格特点:

    - 腔体:铝合金或不锈钢材料可供客户选择,不同尺寸的箱式腔室可选;

    - 泵:分子泵,冷凝泵可选;

    - Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底;

    - 与手套箱兼容;

    - 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制,使用GUI进行工艺控制、数据处理、远程支持;

    - 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;

    - 衬底固定:单衬底固定,多衬底固定,行星式衬底固定,客户化衬底固定方式;

    - 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;

    - 离子源:衬底预先清洗辅助沉积,纳米尺度表面修饰;

    - 磁控溅射沉积技术:射频(RF),直流(DC),脉冲直流(Pulsed-DC);

    - 静态溅射,共溅射,反应溅射,在线溅射;

     

    仪器特点:

    • 腔体材料:不锈钢,铝,或者Bell Jar;

    • 分子泵:70,250,500 l/sec; 一级泵:机械泵或干泵;

    • 13.5MHz, 300-600W射频电源;1KW直流电源;

    • QCM在线厚度测量,厚度分辨率<0.1nm;

    • 带有观察窗的门,方便样品取放;

    • Labview软件,PC控制;

    • 多重密码保护;

    • 全安全互锁设计;

     

    选配功能:

    • 向上,向下,侧向溅射;

    • 射频,直流、脉冲直流溅射;

    • 共溅射,反应溅射;

    • 组合溅射;

    • 射频、直流偏置(1000V);

    • 基底加热:不高于700摄氏度;

    • 厚度监控;

    • 基底射频等离子清洗;

    • Load-Lock,以及自动样品取放;

     

    不同型号选择:

    • NSC系列,立式磁控溅射系统;

    • NSC系列,立式紧凑磁控溅射系统;

    • NSC系列,台式磁控溅射系统;

    • 双腔体系统,NSR系列,磁控溅射+反应离子刻蚀(RIE);

    • 双腔体系统,NSP系列,磁控溅射+PECVD;

    • 双腔体系统,NST系列,磁控溅射+热蒸发;

     

    参考用户

      西北工业大学、广东工业大学等.

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