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    酸碱清洗设备 2-6寸硅片清洗 苏州晶洲

    产品品牌

    苏州晶洲

    库       存:

    1000

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:苏州晶洲

    型号:

    所属系列:半导体清洗设备-强酸碱腐蚀清洗-半导体材料腐蚀清洗机

    设备名称:酸碱清洗设备

    总体规格: 1200mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H) (可变)

    适用于:2-6寸硅片清洗

    控制模式:半自动控制(手动操作,工艺参数控制过程为自动)

    工件:2-6寸硅片

    产能:25/槽,可按客户产能需求设计

    节拍:0~99min可调

    设备特点:

    1.设备骨架为SUS304外包3mmPP-w,外壳采用德国进口PP-W板焊接。

    2.酸槽采用5mmGE石英热熔焊接而成,槽体采用贴膜式加热。

    3.QDR/DIW槽:德国进口10mmPP-N板热熔焊接而成。

    4. 采用台达触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制;

    5.设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护,防腐防水。

    6设备底部安装3mm PP 防漏托盘,有效防止设备漏液损害厂务地板。

    7.用户操作人员上料后,全过程自动化控制,减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点。

    8.设备安全性能高,设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计,确保人身和厂务安全。

     

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