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    SAWATEC瑞士进口 匀胶机 涂胶机 SM-150

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备

    产品品牌

    SAWATEC

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    品牌:SAWATEC

    型号:

    所属系列:半导体加工设备

     匀胶机 SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的最佳选择,适用于表面没有或有非常矮
    形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸最大
    为 150mm (6”)的晶圆或尺寸为 127x127mm (5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足最大
    直径为 176mm。
    SM 系列的优点在于,具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性,并且操作简
    单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力最小化,SAWATEC 公司开发了一
    种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后,可以简单地移除和清理这种保护
    碗。经由如此的高品质设计,也可以将维护成本最小化。因此,SAWATEC匀胶机可被
    优先应用于实验室,研发,试产项目以及研究所。
    该匀胶机可提供便携桌上式和内嵌式两种方式

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