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    RKD 化学开封机 Elite Etch

    应用于半导体行业:

    半导体辅助设备-其他

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体辅助设备-其他

     RKD 化学开封机 Elite Etch
    详细介绍




    机器尺寸(mm) ;   190 x 320 x 305 

    温度范围

    1) 发烟硫酸: 25C - 250C

    2) 发烟硝酸: 25C - 90C

    3) 混酸: 25C - 100C (Elite Etch)

    4) 混酸(专利):10C -100C (Elite Etch Cu)

     

    抽酸流量   :  1-8 ml / minute 

     


    蚀刻头组件:      
    固定式碳化硅(保固3年)

     


    N2 气体支持     
    2.0 lpm (安全盖子+泵)气压为60-70psi

     


    安全

    1) 自动显示错误信息

    2) 设置EMO紧急停止按扭

    3) 漏酸侦测在设备内部和瓶子BOX里

    4) 采用光纤感应盖子的密合度(不是耗材)

    5) 所有管路一体化设计,双层保护套,并且酸瓶盒配有盖子

     


    废酸瓶  :  
    1个 

     

    固定样品方式: 子盖下以后,自动从上到下,直接固定样品

     

    密封圈  :  圆型(不是耗材)

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