高精密数控无心磨床FX-18CNC-4_其他设备类_半导体加工设备_设备馆

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一、 设备名称、型号、技术规格

1、设备名称：高精密数控无心磨床

图片仅供参考

2、设备型号：FX-18CNC-4

3、技术规格：

项目	单位	机型：FX-18CNC-4
标准工作台工作直径	mm	Φ1～60
定制工作台工作直径	mm	Φ40～120
研磨轮尺寸（外径X宽X内径）	mm	Φ455x205xΦ228.6
调整轮尺寸（外径X宽X内径）	mm	Φ255x205xΦ111.2㎜
研磨轮转速	R.P.M	1520
调整轮转速	R.P.M	0～250
砂轮驱动马达	KW	11.5
调整轮驱动马达	KW	3
进刀伺服电机功率	KW	3
修砂伺服电机功率	KW	1.5
油压泵驱动马达	KW	0.75
冷却泵驱动马达	KW	0.25
调整轮最小刻度	mm	0.001
调整轮倾斜角度	DEG	+6°～﹣5°
调整轮回转角度	DEG	±6°
机械尺寸	mm	2350x1960x1550㎜
装箱重量	KG	3500

4、机床精度：

（1）机床精度检验表(随机附带)

（2）经过豪特曼数控无心磨床研磨(磨削)，须达到如下标准精度要求：(不同材质工件选用不同砂轮)

研磨方式	机型	工件	真圆度	粗糙度
通磨	FX-18CNC－4	标准试样件	≤0.001mm	≤Ra0.1
切入磨	FX-18CNC－4	标准试样件	≤0.002mm	≤Ra0.2

注：粗磨 (一般情况研磨量 0.03~0.05mm)；精磨 (一般情况研磨量0.01~0.015mm)

二、设备描述：

1、本体

本体及主要构件采用米汉纳高级铸铁FC-30一次铸成。经人工正常化热处理，再经过自然时效处理。主要构件加工采用YASDA，MITSUI SEIKI，TOSHIBA ，ELB等世界一流设备一次装夹加工。精密尺寸可达微米级，确保设备基础构件高精度。

2、主轴系统

主轴采用台湾健昌品牌，为 SNCM-21H合金钢，经调质、渗碳热处理后再经计算机控制深冷处理，其表层硬度达 HRC-62°以上，单边有效硬化层达1.5mm以上，主轴采用动压油膜主轴，跳动小于0.001mm

3、调整轮传动系统

调整轮主轴驱动马达采用台达伺服马达，转速控制 0-250rpm(数字控制)可任意设定转速，调整到最佳线速度，当调整轮外径变化时仍可保持相同的线速度，研磨出最佳产品。

伺服马达巧妙设计安装在调整轮箱上并用同步皮带直接传动，可以在研磨时与调整轮同时打倾斜角度，保证两皮带轮始终平行。克服了旧型无心磨床用链条多节传动产生的惯量损失和链条夹角带来的诸多不利影响。并且避免了经常更换链条和拉链弹簧。

4、主轴循环油系统

主轴自动润滑循环油(高级锭子油10#)与油压修整装置为同一油泵，外制油箱，清洗换油方便，主轴循环油经两个滤油装置过滤并装有压力控制器，确保主轴寿命。冷却采用双回路冷却系统，保障主轴油的恒温。

5、双V型轨道结构：采用双V型导轨结构，表面通过手工精密铲花，不间断的自动润滑，保障进刀的准确性及精度。

6、电路系统