豪特曼高精密光学曲线磨床S614_其他设备类_半导体加工设备_设备馆

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一、 设备名称、型号、技术规格

1、设备名称：高精密光学曲线磨床

S614曲线磨床图片仅供参考

2、设备型号：S614

3、技术规格：

编号	项目		单位	机型：S614
1	磁台尺寸		mm	150*400
2	工作台面尺寸		mm	230*600
3	工作台移动尺寸（前后*左右）		mm	180*520
4	左右移动（Y轴）	最大行程	mm	520
5		最大移动速度	Mm/min	30000
6		直线电机	N	MAX.1600
7		分辨率	mm	0.0001
8	前后移动（X轴）	最大行程	mm	180
9		最大速度	Mm/min	12000
10		伺服电机功率	KW	1.8
11		分辨率	mm	0.0001
12	上下移动（Z轴）	最大行程	mm	350
13		最大速度	Mm/min	12000
14		伺服电机功率	KW	1.5
15		分辨率	mm	0.0001
16		砂轮尺寸（外径厚度内径）	Deg	（100-205）（13-19）31.75mm
17	装机总功率		KW	10
18	机械润滑			定时自动
19	外形尺寸（长宽高）		mm	175018002000
20	设备重量		KG	3500

4、机床精度：

经过豪特曼光学曲线平面研磨，需达到如下标准精度要求：(不同材质工件选用不同砂轮)

No.	磨削方式	工件	平面度	粗糙度
1	平面	试样件100*300mm	≤0.002mm	≤Ra0.2

注：粗磨 (一般情况研磨量 0.03~0.06mm)；精磨 (一般情况研磨量0.005~0.02mm)

二、设备描述：

1﹑本体

本体及构件采用米汉纳高级铸铁FC30一次铸成，经人工正常化热处理，再经过六个月以上自然时效处理，构件加工采用YASDA、MITSUI SEIKI、TOSHIBA 、ELB等世界一流设备一次装夹加工，精密尺寸可达微米级，确保设备基础构件高精度。

2﹑主轴系统

主轴采用前四后二轴承式结构，均在恒温无尘车间安装，搭配P4级超精密角接触滚珠轴承并作预压处理，轴承与轴芯组合后，主轴跳动控制在0.001mm以内，具有温升小、噪音低、振动小的特点。

3﹑传动系统

左右移动Y轴采用直线电机结构，最大驱力可达1600N，配置进口高精密光栅尺，超高的定位精确度，最小进给可达0.0001mm。X轴和Z轴采用C1级滚珠丝杆，静压润滑可降低摩擦与交互影响，并可增加刚性和定位精度。

4﹑修砂装置

采用两种不同的修砂刀，配合三轴联动进行修砂，可轻松实现砂轮的端面及外轮廓的成型修整。

5、设备详细结构图