网站首页
购物车
用户中心
全部产品分类
提示信息
免费咨询行业专家
服务热线
4001027270
1. 四管式高温炉低压化学气相沉积系统. 1
‧ 系统设计适于 4”圭片量产150片/RUN..
‧ 手动供料系统
‧ Eurotherm 2408 温控系统 (新品)
‧ ITS Tymkon 计算器共容过程控制系统
‧ 美囯Thermco 4304 炉体翻新
‧ 美囯MRL 200 ~ 1200 C 加热炉膛
‧ PCS 3 Levels 供气管路系统 , 包括含氧多晶圭LPCVD 2套 LTO一 套
‧ 5 道气体减压阀管路柜 , ( Air, N2,O2,SiH4,N2O ).
LEVEL 1 :EMPTY
LEVEL 2 : SIPOS 含氧多晶圭LPCVD
LEVEL 3 : SIPOS 含氧多晶圭LPCVD
LEVEL4 : LTO 二氧化圭LPCVD
‧ 水冷式 316SS 不锈钢法兰门.单门SIPOS,双门LTO
‧ PCS 5 管路UNIT 质量流量计.
‧ MKS651 蝶阀控制器.
‧ MKS 253B 蝶阀.
‧ MKS 628B Baratron 1 torr 压力传感器.
‧ PWR 压力显示器
‧ 机械真空幚浦.
‧ 鲁氏帮浦
‧ AP120 真空干幚浦
‧ ITS Tymkon 程控器.
‧ ITS GPI 904 气控箱
