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    定量阴极荧光 CL-SEM系统 Säntis 300

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-其他设备类-其他

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-其他设备类-其他

     Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆,或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上,然后仪器自动处理。


    Santis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜,可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。

    优点:

    1、控制可\达300毫米的晶圆

    2、高\效的CL-SEM扫描成像效率

    3、同时进行电镜成像和光学信号采集

    4、边缘检测,晶圆准确定位(优于10μm)

    5、对晶圆翘曲度自动映射和调整

    特点:

    Santis 300系统提供3种不同的采集模式,为不同的需求和应用量身定制:

    • 面扫描模式(FWBrush模式)

    • 线扫描模式(AWPix模式)

    • 多点扫描模式

     

    工业市场应用:

    1、GaN 及其应用:

     高强度LED要求高发射效率和高可靠性。以汽 车应用为例,LED故障影响安全,危及人身安 全;UVC LED 要求高的发射效率和高的发射均匀 性;LED故障会使人的生命处于危险之中,例如在灭菌和消毒应用中。

    2、光子学:激光光子学

    3、电力电子应用 GaN:电力电子应用需要更大的功率、更小和更轻 的包装,例如物联网或汽车应用

    4、II-VI族材料:GaAs 及其应用: 太阳能, 电力电子;电力电子SiC ;μLED

    其他应用举例:

    微观结构发光二极管(MicroLed)

    LED质量控制

    GaN中的螺纹位错缺陷计数

    碳化硅衬底质量控制

     

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