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    全自动RCA清洗机

    应用于半导体行业:

    半导体清洗设备

    产品品牌

    苏州尚纯

    库       存:

    100

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    10000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:苏州尚纯

    型号:

    所属系列:半导体清洗设备

     

    全自动RCA清洗机

    适用产业:半导体等

    控制模式:手动控制模式、自动控制模式

    项目

    数据

    适用对象

    硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

    蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

    砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

    碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

    其它衬底晶片

    基本规格

    机台封面:聚丙烯瓷白PP板材(厚度≥10mm)Or China SUS板材(厚度≥2mm)

    机台主体强度结构:整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材

    机台视窗:透明、抗静电透明PVC(厚度≥5mm)Or China 钢化玻璃(厚度≥2mm)

    选配模块

    腐蚀液恒温系统

    腐蚀液循环过滤系统

    超(兆声)系统

    全自动供液系统

    更全面的全自动烘干系统

    消防系统

    可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

    机台特点

    刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性

    QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定

    集成自动干燥系统

    管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品

    保修便利,非期货库存品工厂内均建立安全库存品

    全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小运行平稳,机械臂定位精度高

    多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储

    作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全

    客制化设计能力佳,搞设计能力满足客户制程工艺需要

    机械臂装置

    Robot的工艺路径种类 N种(设备出厂前载入PLC内)

    机械手传送定位精度 ≤0.3mm

    机械臂走向 右进做出或左进右出

    制程控制

    PLC控制方式

    操作界面

    全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏)

    槽体数量

    根据制程要求选择定制

    设备制造

    苏州尚纯半导体设备有限公司

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