HTR-01 桌式4英寸快速退火炉_其他设备类_半导体封装设备_设备馆

最大样品尺寸	4英寸（直径20mm）
控温范围	RT~1200℃
升温速率(max)	50℃/s
高温段降温速率（max）	600℃/min
温度均匀性	≦1%
控温精度	±0.1℃
气体流量	标配1路，可扩展至多路
放样管径	Ф210mm*320mm
放样数量	4-10个
真空度	真空度可以达到10-5
控制方式	支持真空、氧化、还原、惰性气体等工艺气氛，也可设置通过软件控制真空及通气时间

HTR-01 桌式4英寸快速退火炉

应用于半导体行业：

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